セラミックフォーラムでは、欧州リーディングメーカーによる最先端のSiC製品を、多彩な要望に応えられるように豊富な仕様で安定的に供給できるような協力関係をもって、提供しています。
セラミックフォーラムでは、GaN・AlNも取り扱っています。詳しくはこちら。
次世代型パワーデバイス用のウエハとして利用が拡大しているSiC バルクウエハ。昇華法で製造される、信頼性の高い製品を提供しています。
セラミックフォーラムでは、デバイス量産用の厳しい品質検査をクリアしたSiCバルクウエハを提供しています。
次世代の携帯電話用基地局、レーダーなどの高周波デバイスのウエハとして用いられる半絶縁性 SiC ウエハ。高温CVD法で製造された低欠陥・高純度の製品を提供しています。
SiCにおけるエピキタシー層のドーピング制御を高精度にコントロールすることができる、エネルギーフィルターを用いたイオン注入サービスを提供しています。
SiC デバイスの性能向上に欠かせないキーポイントとなる、SiCエピタキシーの受託成膜サービスを提供しています。n型やp型、600Vから10KVを超える超高耐圧デバイス用エピキタシーなど、多くの仕様に対応しています。
パワーデバイス用のイオン注入に必要とされる高エネルギー(〜50MeV)でのイオン注入サービスを提供しています。SiC、GaN、GaAsなどの基板に対応しています。
高耐圧パワーデバイスをメインとした豊富な開発実績をもとに、SiC パワーデバイスの設計・試作・評価・パイロット量産・大規模量産の各段階に合わせたサービスを提供しています。
各種ウエハにおけるCMP加工、再生研磨、ウエハ薄肉化、ワイヤーソー、洗浄、加工評価などのトータルソリューションを提供しております。