ガラス製造技術とワイドギャップ半導体のセラミックフォーラム

03-5577-2947
平日: 9:30~18:00

レーザーラマン顕微鏡「ラマンタッチ」

セラミックフォーラム株式会社 > 製品情報 > ワイドギャップ半導体部門 > 検査装置 > レーザーラマン顕微鏡「ラマンタッチ」

概要

セラミックフォーラムは日本Nanophoton社のレーザーラマン顕微鏡「ラマンタッチ」を取り扱っております。

Nanophoton社のレーザーラマン顕微鏡は世界最速・最高画質のラマンイメージングを提供するために開発されました。彼らの顕微鏡は独自のライン照明技術を使用しています。これにより発生したラマン光はCCDのY軸方向にて400画素で分割検出され、一回の露光で400本ものスペクトルを取得できます。さらに従来とは異なるレーザービーム走査方式を採用することにより、高速・高精度のスキャンを実現しました。そのため数万画素のラマンイメージを数分で取得することが可能となりました。

同時にNanophoton社は350nmの空間分解機能を得るために、光学系もデザインしました。ラマンタッチは横モード・シングルの高品質レーザーを搭載しています。これにより、ダイヤモンドビーズを用いてデモ測定をした際に、イメージングされた画像内にてラマンピークの強度プロファイルを取ったところ半値全幅保証値の350nmであることが確認できました。

「十分なスペクトル分解能があること」「十分な明るさが確保できること」「コンパクトであること」これらの条件を満たすため、ラマンタッチは焦点距離500mmの分光器を採用しています。そのためスペクトル分解能は1200gr/mmの回折格子使用時で半値全幅1.2cm-1を切りました。そのため複雑なピーク群をしっかりと分離して検出できます。



スペック

 主な性能  
 空間分解能 (X/Y/Z)  350nm/500nm/1000nm (@532nm, 100x, 0.9NA)
スペクトル測定範囲  100cm^-1 〜 
 スペクトル分解能 (FWHM)  1.2cm^-1 (@785nm, 1200gr/mm)
 スペクトルピクセル分解能  0.3cm^-1/pixel (@785nm, 1200gr/mm)
ピーク位置決め精度   0.1cm^-1
 主な仕様  
 レーザー波長 488nm, 532nm, 671nm,785nm 
 レーザー照射方式  ポイント照明・ライン照明
 分光器の焦点距離 500mm 
グレーティング   150, 300, 600,1200, 1800, 2400gr/mmから3枚内臓
検出器   電子冷却CCD 1340x400画素
 光学顕微鏡 成立型・倒立型 
オプション
データベース 冷却加熱ステージ
広視野観察用電動ステージ 簡易偏光ラマン測定機能
高精度ピークシフト測定機能 iPadによるリモートオペレーション
反射分光イメージング機能  
本体寸法と質量  
サイズ(WxHxD) 820 x 450 x 590mm
重量 70kg

製品メーカー案内


ナノフォトン株式会社(日本)

ナノフォトン株式会社は2003年に「ナノとフォトニクスで世界を変える」ということを理念として設立された日本の会社です。現在ナノフォトンは長年の経験により得た独自技術により、科学技術及び産業技術研究に置いて貢献しています。

当社サービスに関するこんなお悩み・ご相談お待ちしております!
  • SiCやGaN などのワイドギャップ半導体に関して質問がある
  • SiCやGaN ウエハに成膜するエピの仕様を決めたい
  • DLTSの測定に関して詳細を知りたい
  • 結晶評価を行いたい
  • ガラスの分析に関して知りたいことがある
  • ガラス溶解炉の生産性向上のための施策を知りたい
お電話でのお問い合わせはこちら
03-5577-2947
平日: 9:30~18:00
WEBからのお問い合わせはこちら